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石英坩堝簡介
1.石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎材料。當今,世界半導體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。
2、不能和HF接觸,高溫時,易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
4.石英質(zhì)脆,易破,使用時要注意。
石英玻璃坩堝
石英玻璃坩堝
5.除HF外,普通稀無機酸可用作清洗液。國內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內(nèi)坩堝生產(chǎn)大廠家生產(chǎn)的坩堝技術都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂由美國進口和挪威高純石英砂兩種。也有小廠使用國產(chǎn)料其原料生產(chǎn)的石英坩堝對拉制單晶硅時其穩(wěn)定性都有一定影響。
目前坩堝生產(chǎn)涂層技術已被大多數(shù)廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應提高成晶率。
石英坩堝作為新興的一種特種陶瓷,是熔融石英陶瓷的一種,廣泛應用于太陽能光伏行業(yè)的多晶硅鑄錠環(huán)節(jié),由于目前多晶硅錠基本為方形,故熔融石英坩堝目前也俗稱石英方坩堝。目前市場的主流產(chǎn)品有G5系列:883mm×883mm×420mm/480mm,G6系列:1040mm×1040mm×500mm,隨著行業(yè)的迅猛發(fā)展,G6石英方坩堝逐步成為市場多晶硅鑄錠的主流需求。
石英坩堝的形狀上的發(fā)展趨勢為:大件、壁薄,對其生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)提出了更為高的工藝要求,G6石英方坩堝的生產(chǎn)合格率,將是下一個階段用以衡量各大石英方坩堝生產(chǎn)企業(yè)技術研發(fā)能力的一個重要依據(jù)。目前石英方坩堝的主流生產(chǎn)工藝有:雙面吸漿法,單面吸漿法,注凝法。
石英坩堝工藝流程
高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫?!③釄宄醪綑z測→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗→真空包裝→成品入庫
石英坩堝現(xiàn)場檢測
國內(nèi)石英坩堝的傳統(tǒng)檢測,一般都是應用較為大型顯微鏡等檢測儀器,主要是在實驗室對石英坩堝進行檢測。實驗室檢測石英坩堝對產(chǎn)品質(zhì)量方面做出很大貢獻,不過,實驗室檢測由于產(chǎn)品較為笨重,攜帶不便,很難帶到現(xiàn)場進行石英坩堝的檢測,而且價格也較為昂貴,因而許多的石英坩堝工廠并沒有普及這些實驗室檢測設備。
針對石英坩堝廠家面臨的這些苦惱,應用便攜式數(shù)碼顯微鏡,要比實驗室檢測設備便宜許多,可以隨時隨地進行石英坩堝的檢測,還可以進行拍照、攝像等將石英坩堝檢測結(jié)果實時記錄下來,很好的彌補了石英坩堝實驗室檢測方面的不足。
石英坩堝,具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點,應用越來越廣泛。石英坩堝的檢測工作是一個十分重要的環(huán)節(jié),而且石英坩堝的檢測朝向現(xiàn)場檢測方向發(fā)展。
石英坩堝的使用及維護
石英坩堝主要化學成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。
石英坩堝對熱的穩(wěn)定性很好,可直接放在火焰上加熱
石英坩堝和玻璃器皿一樣,容易破碎,使用時要特別小心
用石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212攝氏度烘干)等作為熔劑,熔融溫度不許超過800攝氏度。
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