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石英坩堝簡(jiǎn)介
1.石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
2、不能和HF接觸,高溫時(shí),易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
4.石英質(zhì)脆,易破,使用時(shí)要注意。
石英玻璃坩堝
石英玻璃坩堝
5.除HF外,普通稀無機(jī)酸可用作清洗液。國(guó)內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國(guó)內(nèi)坩堝生產(chǎn)大廠家生產(chǎn)的坩堝技術(shù)都比較成熟。其生產(chǎn)使用原料石英砂由美國(guó)進(jìn)口和挪威高純石英砂兩種。也有小廠使用國(guó)產(chǎn)料其原料生產(chǎn)的石英坩堝對(duì)拉制單晶硅時(shí)其穩(wěn)定性都有一定影響。
目前坩堝生產(chǎn)涂層技術(shù)已被大多數(shù)廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。
石英坩堝作為新興的一種特種陶瓷,是熔融石英陶瓷的一種,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏行業(yè)的多晶硅鑄錠環(huán)節(jié),由于目前多晶硅錠基本為方形,故熔融石英坩堝目前也俗稱石英方坩堝。目前市場(chǎng)的主流產(chǎn)品有G5系列:883mm×883mm×420mm/480mm,G6系列:1040mm×1040mm×500mm,隨著行業(yè)的迅猛發(fā)展,G6石英方坩堝逐步成為市場(chǎng)多晶硅鑄錠的主流需求。
石英坩堝的形狀上的發(fā)展趨勢(shì)為:大件、壁薄,對(duì)其生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)提出了更為高的工藝要求,G6石英方坩堝的生產(chǎn)合格率,將是下一個(gè)階段用以衡量各大石英方坩堝生產(chǎn)企業(yè)技術(shù)研發(fā)能力的一個(gè)重要依據(jù)。目前石英方坩堝的主流生產(chǎn)工藝有:雙面吸漿法,單面吸漿法,注凝法。
石英坩堝工藝流程
高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫?!③釄宄醪綑z測(cè)→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測(cè)→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動(dòng)烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗(yàn)→真空包裝→成品入庫(kù)
石英坩堝現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)
國(guó)內(nèi)石英坩堝的傳統(tǒng)檢測(cè),一般都是應(yīng)用較為大型顯微鏡等檢測(cè)儀器,主要是在實(shí)驗(yàn)室對(duì)石英坩堝進(jìn)行檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)石英坩堝對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量方面做出很大貢獻(xiàn),不過,實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)由于產(chǎn)品較為笨重,攜帶不便,很難帶到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行石英坩堝的檢測(cè),而且價(jià)格也較為昂貴,因而許多的石英坩堝工廠并沒有普及這些實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備。
針對(duì)石英坩堝廠家面臨的這些苦惱,應(yīng)用便攜式數(shù)碼顯微鏡,要比實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備便宜許多,可以隨時(shí)隨地進(jìn)行石英坩堝的檢測(cè),還可以進(jìn)行拍照、攝像等將石英坩堝檢測(cè)結(jié)果實(shí)時(shí)記錄下來,很好的彌補(bǔ)了石英坩堝實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)方面的不足。
石英坩堝,具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用越來越廣泛。石英坩堝的檢測(cè)工作是一個(gè)十分重要的環(huán)節(jié),而且石英坩堝的檢測(cè)朝向現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)方向發(fā)展。
石英坩堝的使用及維護(hù)
石英坩堝主要化學(xué)成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。
石英坩堝對(duì)熱的穩(wěn)定性很好,可直接放在火焰上加熱
石英坩堝和玻璃器皿一樣,容易破碎,使用時(shí)要特別小心
用石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212攝氏度烘干)等作為熔劑,熔融溫度不許超過800攝氏度。
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