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1、裝料擠壓。裝料過程中,硅料之間特別注意需要留有一定空隙,一般以2cm以上,一旦裝料過擠,可能引發(fā)溢流產(chǎn)生。這是因為硅料熔化從中上部開始,一旦裝料過于擁擠,液體硅流到坩堝底部以后可能會因溫度過冷而凝固,如果沒有空間供其膨脹,會對坩堝壁產(chǎn)生擠壓作用,導(dǎo)致坩堝破裂溢流。
2、坩堝隱裂。用來盛放硅錠的坩堝為石英陶瓷材料,其制作方式有注漿成型和注凝成型兩種方式,但不論哪種方式制作的坩堝,都會存在隱裂,氣孔等缺陷,這些坩堝在出廠以前一般都會經(jīng)歷兩道以上的采用顯影液透光檢查過程,但仍可能會有漏檢的坩堝,另外坩堝在運輸過程中或搬運過程中會遇到震動或磕碰,如果這些缺陷在裝料前沒有檢測到,很有可能在熔化過程中出現(xiàn)硅液溢流現(xiàn)象。
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